數字式質量流量控制器被廣泛地運用于各種工業(yè)領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,到半導體、液晶面板和電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制,顯著地提高了工作效率,進而節(jié)約了能源和提高了生產力。
數字式質量流量控制器的特點:
1、高精度度的數據。
當然,使用質量流量控制器是為了獲得良好的監(jiān)測數據和高精度,因此廣泛應用于一些特殊的氣體行業(yè)。需要控制氣體,以防止工作制氣體。這也要求質量流量控制器具有較高的數據準確性,以便更好地控制操作。
2、識別智能檢測。
如今是歸屬于智能化的時期,無論是什么機器設備都是要想向智能化層面發(fā)展趨勢,那樣能夠降低人力資源的輸出,另外更強的提高其工作中的高效率。因此品質流量控制器也必須與時俱進,可以開展智能化的鑒別檢測,那樣得到的數據信息會更為精確,也不用一遍又一遍的被運營來開展解決。
3、測量指數范圍大。
過去,質量流量控制器在數據檢測范圍上會更短,這對許多行業(yè)都有很大的限制,無法進行大規(guī)模監(jiān)控。但現在,隨著質量流量控制器的不斷發(fā)展和改進,質量流量控制器也取得了很大的進步,可以在測量范圍內獲得更大的數據指標,不再局限于小范圍的控制。
數字式質量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。