日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器：

雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動(dòng)方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是一種通過金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：

 電器連接：

   ★使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
有關(guān)MFC規(guī)格，請(qǐng)單獨(dú)查詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

尺寸圖：